中圖儀器激光干涉儀器設備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環境條件的要求，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

中圖儀器SJ6000機床校準激光干涉儀以干涉技術為核心，可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實現對機床回轉軸的測量與校準。

中圖儀器激光平面干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點，不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

中圖儀器SJ6000自制激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析。

中圖儀器激光跟蹤檢測儀品牌可以對運動的目標進行跟蹤測量，還可以對靜止的空間目標進行高精度三維測量，是大尺寸精密測量的主要手段。具有高精度、高效率、實時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點。

中圖儀器品牌的激光干涉儀可以檢測加工中心及機床、三坐標測量機的各項精度參數，使被加工工件符合標準，提高了產出的整體質量度。能實現線性定位精度、直線度、角度、回轉軸等幾何量測量功能，同時結合不同的光學鏡組，還能檢測運動導軌的俯仰角、直線度和垂直度、扭擺角，記憶校準機床的回轉軸精度。