機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀

中圖儀器SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)。

SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀

SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件，具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

注意事項(xiàng)

對(duì)角線測(cè)量套裝配置需求：對(duì)角線測(cè)量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： SJ6800

產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀

穩(wěn)頻方式： 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測(cè)量距離：≤（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量至大速度：4m/s

線性測(cè)量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

主要特點(diǎn)：絕對(duì)測(cè)量、恒測(cè)力、無阿貝誤差