SuperViewW1光學3d表面輪廓儀器主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業。

SuperView W1三維光學成像輪廓儀測粗糙度對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面粗糙度形貌的3D測量。

SuperViewW1非接觸式三維光學輪廓儀器可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學輪廓儀器以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數納米，線性精度可達亞納米級別。