中圖儀器CEM3000系列高分辨掃描電子顯微鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

NS系列探針式接觸臺(tái)階高度儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

中圖儀器SEM掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍，制作工藝相對簡單，材料成本也較低，使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高，從而降低了臺(tái)式掃描電鏡的設(shè)備采購成本。鎢燈絲電子槍可以在相對較低的真空度下工作，通常只需要兩級(jí)真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境，這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本，還縮短了抽真空的時(shí)間，提高了工作效率。

中圖儀器SuperViewW白光干涉三維光學(xué)形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

CEM3000系列國內(nèi)高分辨力掃描電鏡運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì)，讓用戶在使用時(shí)不再等待，且全系列可選配低真空系統(tǒng)，以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度，滿足不同樣品的觀測需求。此外，該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

CEM3000系列國產(chǎn)掃描電子顯微鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。