VT6000三維形貌共聚焦材料測量顯微鏡單區域、多區域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇，適應多種現場應用環境；Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護。

有圖晶圓共聚焦高精度測量顯微鏡橫向分辨率高，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000材料共聚焦3D測量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。所展示的圖像形態細節更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000超分辨率轉盤共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理，結合精密縱向掃描等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，是實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

VT6000國產轉盤共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高，擅長微納級粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000共聚焦工件表面微觀形貌檢測顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。它在材料生產檢測領域中，測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。