VT6000多功能共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

中圖儀器VT6000系列3D高精度共聚焦顯微鏡集成X\\Y\\Z三個方向調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。儀器以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，保證儀器的高測量精度。

中圖儀器VT6000白光共聚焦測量顯微鏡以尼普科夫轉盤共聚焦光學系統為測量原理，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000共聚焦光學測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，保證儀器的高測量精度。主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。

VT6000高分辨率共聚焦顯微鏡系統采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果。它能夠清晰地展示微小物體的圖像形態細節，顯示出精細的細節圖像。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。