芯片線寬間距高精度測長機

SJ5100芯片線寬間距高精度測長機具有精度高、操作便攜、穩定性強、功能齊全實用等優點，能夠測量及檢定精密量具、精密量規，如塊規、環塞規、卡規、螺紋規、花鍵規、表類、尺類。還可以檢測各種精密工件內外尺寸，如齒輪、花鍵、校對棒、非標量規等，具有通用性強的特點。

SJ5100測長機采用進口高精度光柵測量系統、高精密研磨直線導軌、高精度溫度補償系統、雙向恒測力系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種長度參數的高精度測量。在半導體制造行業中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數。

儀器主要功能

1、標配功能：

檢測量塊&塊規：（0.1~300mm）；

光滑環規：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規：φ1~φ220mm；

螺紋環規：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規：內卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點內徑千分尺：25~300mm；

2、可選配功能：

小型光滑環規：φ0.8~φ5mm；

螺紋環規：規格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環規：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；

螺紋錐度環規：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環塞規/花鍵及標準齒輪（跨棒距測量）：內φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動校準：25~300mm；

數顯及游標卡尺示值誤差手動校準：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動校準：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內徑千分尺手動校準：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準）；

數顯半徑規手動校準：R5~R700mm；

軸承內外圈錐度、溝槽底徑內外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內外徑尺寸測量；

SJ5100芯片線寬間距高精度測長機采用進口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行高精度全行程直接測量。高精度、高穩定性：

1)高精度光柵測量系統，分辨力達到0.01μm，測量精度高；

2)精密研磨導軌系統導軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統高精度穩定可靠的工作；

3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數據的高精度真實采集；

4)采用大理石基座，通過有限元分析優化儀器基座結構保障幾十年穩定不變形，高剛性大理石底座結構保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩定可靠性；

5)采用緊湊型摩擦驅動結構，移動摩擦驅動力小，保證了頭座移動過程中的穩定性。

智能化管理與檢測軟件系統

1)儀器操作界面友好，操作者很容易基本掌握儀器操作，使用十分簡便；

2)十多年積累的實用軟件設計經驗，向客戶提供簡潔、實用、便捷的操作體驗；

3)集成眾多長度標準、規程，功能強大、自動處理數據、打印各種格式的檢測報告，自動顯示、打印、保存、查詢檢測記錄；

4)測量范圍廣，可滿足絕大多數類型的量規、量塊等長度參數測量；

5)軟件配備快速找拐點指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點；

6)純中文操作軟件系統，更好的為國內用戶服務；

7)打印格式正規、美觀。檢定數據可存檔，或集中打印，不占用檢測操作時間；

8)本儀器采用計算機大容量數據庫儲存，可自動記錄保存所有檢測結果。

高性能內尺寸測量裝置：

配置高性能環規內測裝置，可測量小M3螺紋環規（根據選配測針），同時可完成小（φ0.8mm）光滑環規檢測（選配測針）；測量力為電子測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由軟件選擇測力大小（可根據客戶需求定制更小測力）。

典型應用案例

機械制造：在機械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產品的質量和精度。

半導體制造：在半導體制造行業中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數。

光學加工：在光學加工領域中，可以用來測量光學元件的表面形貌和厚度等參數。

航空航天：在航空航天領域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。

主要技術指標

環境條件

參考校準/使用環境溫濕度：

溫度：20±2℃，波動不超過0.5℃/小時

相對濕度：10~70%。

振動：按照三坐標振動要求標準，振動速度均方根≤5um/s，振動頻率8~100Hz；

校準室內應無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場。

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。