運動導軌精度快速激光干涉測量儀

中圖儀器SJ6000運動導軌精度快速激光干涉測量儀以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級。儀器采用的激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、長期穩定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩定可靠。

SJ6000運動導軌精度快速激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

動態測量應用

基于時間的動態測量

機器運動控制性能評價：

1.運動控制器PID控制參數測試與設置

2.高速運動后機器的穩定性測試與評價

3.高性能運動控制器的微小步幅的測試

振動監視

1.掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實現高質量成像非常關鍵的場合

2.機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩輪廓運動的高質量表面精加工

振動頻率分析

1.被測對象的振動頻率分析

2.FFT快速傅立葉變換分析

基于距離的動態測量

基于距離的動態測量，SJ6000激光干涉儀系統將沿著軸線“飛行"測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶間隔進行數據采集。

提供脈沖觸發方式采集

CT70正交觸發盒可監控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現脈沖觸發啟動采集和連續脈沖觸發采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發激光干涉儀按間隔位置進行數據采集。

SJ6000激光干涉儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，環境適應能力強。

產品功能

（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環境補償。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業專屬模板定制。

部分技術指標

主機

穩頻精度：0.05ppm

動態采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環境濕度：(0~95)%RH

環境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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