3D光學白光干涉儀

中圖儀器3D光學白光干涉儀SuperViewW1基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW13D光學白光干涉儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

產品功能

1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。

2) 測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。

3) 測量中提供拼接測量功能。

4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。

5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

測量單刻線臺階

在檢查SuperView W1白光干涉儀的各線路接頭都準確插到對應插孔后，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。

在計算機上打開白光干涉儀測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的點，再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕，白光干涉儀可自動進行掃描測量，測量完成后，轉件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數據分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數。