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        白光干涉檢測儀設(shè)備

        簡要描述:SuperViewW1白光干涉檢測儀設(shè)備載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達(dá)0.1nm??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

        • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        • 更新時間:2025-03-07
        • 訪  問  量:920

        詳細(xì)介紹

        品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
        加工定制

        SuperViewW1白光干涉檢測儀設(shè)備是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。儀器由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。


        SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀,國產(chǎn)白光干涉儀品牌.jpg


        SuperViewW1白光干涉檢測儀設(shè)備載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達(dá)0.1nm。

        【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;

        【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um;


        性能特點

        1、精密操縱手柄

        集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

        2、雙重防撞保護(hù)措施

        除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險。

        3、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

        既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。


        SuperViewW1白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。


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