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        三維輪廓測量儀器

        簡要描述:SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術為原理,采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。

        • 廠商性質:生產廠家
        • 更新時間:2025-03-07
        • 訪  問  量:1161

        詳細介紹

        品牌中圖儀器產地國產
        加工定制

        SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術為原理,采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。是一款專用于超精密加工領域的光學檢測儀器,其分辨率可達0.1nm。


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        技術指標

        產品型號:SuperView W1系列

        產品名稱:光學3D表面輪廓儀

        影像系統:1024×1024

        光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

        干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

        XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環反饋

        Z軸行程:100mm,電動

        Z向掃描范圍:10mm

        Z向分辨率:0.1nm

        水平調整:±5°手動

        粗糙度RMS重復性:0.005nm

        臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

        主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

        生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司

        注釋:更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

         

        測量方法

        1. 點擊XY復位,使得鏡頭復位到載物臺中心

        2. 將被測物放置在載物臺夾具上,被測物中心大致和載物臺中心重合;

        3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件;

        4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度,找到干涉條紋;

        5.設置好掃描方式和掃描范圍;

        6.點擊選項圖標,確認自動找條紋上下限無誤;

        7.點擊多區域測量圖標,可選擇方形和(橢)圓形兩種測量區域形狀;

        8.根據被測物形狀和尺寸,"形狀"欄選擇“橢圓平面",X和Y方向按需設置;

        9.點擊彈出框右下角的“開始"圖標,儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。


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        SuperViewW1三維輪廓測量儀器應用

        在軍事領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度;

        在集成電路行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

        在3C領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

        在EMES行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;

        在光纖通信行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

        在LED行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度。

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        深圳市中圖儀器股份有限公司
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