白光表面干涉儀

中圖儀器，堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，為用戶提供從納米到百米的精密測量解決方案！

白光表面干涉儀是利用光學(xué)原理開發(fā)的非接觸測量儀器，更能滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化測量的高精度、低成本和小型化需求。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

產(chǎn)品特點(diǎn)

【3D測量，一覽無余】

采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)。

【功能強(qiáng)大，參數(shù)齊全】

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。

【操作便捷，簡單明了】

直觀的操作界面，一目了然的操作流程，自動(dòng)聚焦，一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程；可視化的工作流程樹，一鍵激活的圖庫管理功能，所見即所得的分析功能，有一鍵分析功能，批量測量效率高。

【高重復(fù)精度，穩(wěn)定可靠】

采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性。

【兩種型號(hào)，量身定制】

W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動(dòng)版和1200多鏡頭自動(dòng)版兩種機(jī)型，另可針對(duì)不同的客戶需求，在兩種型號(hào)間選取不同配置進(jìn)行組合，讓儀器切合需求，貼心省力。

【廣泛應(yīng)用，貼心服務(wù)】

可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)……光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……

中圖儀器SuperViewW1白光表面干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。