SJ6000系列激光干涉儀

一、SJ6000系列激光干涉儀功能特點(diǎn)

1. 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2. SJ6000激光干涉儀具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

4. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

5. 內(nèi)置各種類國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

6. 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7. 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

二、SJ6000系列激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

• 穩(wěn)頻精度：0.05ppm

• 線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

• 線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

• 角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

• 測(cè)量分辨力：1nm

• 動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

• 預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

• 工作溫度范圍：（0-40）℃

• 環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

三、SJ6000激光干涉儀使用注意事項(xiàng)

1.儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。

2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。

3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。

5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。

6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。

7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。

主營(yíng)產(chǎn)品：閃測(cè)儀，一鍵式測(cè)量?jī)x，圖像尺寸測(cè)量?jī)x，機(jī)床測(cè)頭，激光干涉儀，光學(xué)3D表面輪廓儀，白光干涉儀，輪廓儀

中圖儀器經(jīng)過(guò)十多年在幾何量測(cè)量領(lǐng)域的潛心研究，設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ5100系列高精度測(cè)長(zhǎng)機(jī)、SJ5700系列輪廓測(cè)量?jī)x、SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)、SJ2000系列指示表自動(dòng)檢定儀等眾多測(cè)量、計(jì)量設(shè)備。從納米級(jí)的微觀形貌檢測(cè)到百米級(jí)的大尺寸高精度測(cè)量，為用戶提供專業(yè)的精密測(cè)量解決方案。

目前，中圖儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、汽車、航空航天、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè)，為中國(guó)儀器在精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。