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        淺析電動輪廓儀的性能特色

        更新時間:2025-04-16      點擊次數:289

        電動輪廓儀作為一種精密測量儀器,在多個領域中發揮著至關重要的作用。特別是在半導體制造、3C電子、光學加工以及航空航天等高精度要求的行業中,電動輪廓儀以其性能和多樣的功能,成為重要的檢測工具。本文將以深圳市中圖儀器股份有限公司的SuperViewW1光學3D表面電動輪廓儀為例,深入探討電動輪廓儀的性能特色。

        一、高精度與高重復性

        電動輪廓儀采用了光學干涉技術、精密Z向掃描模塊以及先進的3D重建算法,共同構成了高精度測量系統。這種組合確保了測量結果的準確性,達到了亞納米級的測量精度,能夠滿足對精密器件及材料表面進行高質量測量的需求。同時,通過優異的隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上的振動,從而消除了地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲對測量結果的影響,進一步提升了測量的重復性。

        二、一體化操作的測量分析軟件

        電動輪廓儀配備了一體化操作的測量分析軟件,使得測量與分析過程更加便捷。測量與分析功能在同界面操作,無需切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能。軟件界面設有可視化窗口,用戶可以實時觀察掃描過程,確保測量的準確性和完整性。此外,軟件還提供了幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析和功能分析等五大功能模塊,滿足用戶多樣化的分析需求。通過自定義分析模板的自動化測量功能,用戶可以自動完成多區域的測量與分析過程,大大提高了工作效率。

        三、精密操縱手柄與雙重防撞保護措施

        電動輪廓儀的精密操縱手柄集成了X、Y、Z三個方向的位移調整功能,用戶可以快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,提高了測量的靈活性和準確性。同時,儀器還采用了雙重防撞保護措施,包括初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護,以及在Z軸上設計的機械電子傳感器。當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器會自動進入緊急停止狀態,從而有效保護儀器,降低人為操作風險。

        四、雙通道氣浮隔振系統

        電動輪廓儀配備了雙通道氣浮隔振系統,既可以接入客戶現場的穩定氣源,也可以接入標配空壓機,確保在無外接氣源的條件下也能穩定工作。這一設計使得電動輪廓儀能夠適應不同的工作環境,保持測量的穩定性和準確性。

        五、廣泛的應用領域

        電動輪廓儀的應用領域廣泛,可以對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。在半導體制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件以及航空航天等領域中,電動輪廓儀都發揮著重要作用。

        六、豐富的測量參數與評價標準

        電動輪廓儀可依據ISO/ASME/EUR/GBT等國內外標準,提供多達300余種2D、3D參數作為評價標準。這些參數涵蓋了從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等多個方面,為用戶提供了全面的測量和分析依據。

        深圳市中圖儀器股份有限公司
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